【明報專訊】工業和信息化部9日印發《首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024 年版）》通知，電子專用裝備列表包括國產氟化氪光刻機（110nm），以及氟化氬光刻機（65nm）。被業內認為是國產深紫外線（DUV）光刻機的里程碑式進步。